Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study
Claessen, Rolf

Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study

Design of Volatile Non-halogenated Precursors for the Chemical Vapor Deposition (CVD) of Copper
  • BoD - Books on Demand, 2002
  • Kartoniert/Broschiert
  • 1. Auflage, 212 S.
  • Abmessung: 170 mm x 14 mm x 220 mm
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN/EAN: 9783831142743
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